製程專題製作(一)(W1094173)
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课程介绍

课程安排

http://www.lhu.edu.tw/class_intro/EL/EL21297.htm
  • 導論
  • 積體電路製程介紹
  • 半導體基礎
  • 半導體基礎元件
  • 晶圓製造
  • 加熱製程
  • 微影製程
  • 電漿製程
  • 離子佈植製程
  • 蝕刻製程
  • 化學氣相沉積與介電質薄膜
  • 金屬化製程
  • 化學機械研磨製程
  • 半導體製程整合
  • IC製程技術
  • 製程潔淨控制與安全(⼀)
  • 製程潔淨控制與安全(二)
  • 半導體製程發展趨勢和總結
教师 / 田青禾

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