製程專題製作(一)(W1094173)
上课期间:从 即日起 到 无限期
LINE分享功能只支援行动装置
课程介绍
课程安排
http://www.lhu.edu.tw/class_intro/EL/EL21297.htm
-
導論
-
積體電路製程介紹
-
半導體基礎
-
半導體基礎元件
-
晶圓製造
-
加熱製程
-
微影製程
-
電漿製程
-
離子佈植製程
-
蝕刻製程
-
化學氣相沉積與介電質薄膜
-
金屬化製程
-
化學機械研磨製程
-
半導體製程整合
-
IC製程技術
-
製程潔淨控制與安全(⼀)
-
製程潔淨控制與安全(二)
-
半導體製程發展趨勢和總結
教师 / 田青禾