半導體製程技術(S107517C)
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
http://www.lhu.edu.tw/class_intro/EL/EL83023.htm
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前言
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晶體結構與矽半導體物理特性
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半導體能帶與載⼦傳輸
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化合物半導體晶體結構與物理特性
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半導體基礎元件
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接⾯能帶圖與費米能階
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積體電路製程與佈局
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半導體元件縮⼩化與先進奈米元件
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⾼速與⾼功率元件
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半導體光電元件
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矽晶棒之⽣⻑
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矽晶圓之製作
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化合物半導體晶棒⽣⻑
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矽磊晶⽣⻑
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矽磊晶系統
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化合物半導體磊晶⽣⻑
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製程潔淨控制與安全(⼀)
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製程潔淨控制與安全(⼆)
Teacher / 田青禾
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