先進半導體技術(S110517E)
上課期間:從 即日起 到 無限期
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課程介紹

課程安排

http://www.lhu.edu.tw/class_intro/EL/EL83075.htm
  • ch15_半導體製程發展趨勢和總結 (1)
  • ch1_導論 (1)
  • ch2_積體電路製程介紹 (1)
  • ch7_電漿製程 (1)
  • ch8_離子佈植製程 (1)
  • ch12_化學機械研磨製程 (1)
  • ch11_金屬化製程 (1)
  • ch3_半導體基礎 (1)
  • ch13_半導體製程整合 (1)
  • ch9_蝕刻製程 (1)
  • ch10_化學氣相沉積與介電質薄膜 (1)
  • ch4_晶圓製造 (1)
  • ch5_加熱製程 (1)
  • ch14_IC製程技術 (1)
  • ch6_微影製程 (1)
教師 / 黃瓊儀

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