半導體概論(E1114171)
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Course Intro
Course Plan
http://www.lhu.edu.tw/class_intro/EL/EL21426.htm
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CH0-前言
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CH01-晶體結構與矽半導體物理特性
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CH02-半導體能帶與載子傳輸
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CH03-化合物半導體晶體結構與物理特性
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CH04-半導體基礎元件
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CH05-接面能帶圖與費米能階
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CH06-積體電路製程與佈局
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CH07-半導體元件縮小化與先進奈米元件
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CH08-高速與高功率元件
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CH09-半導體光電元件
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CH10-矽晶棒之生長
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CH11-矽晶圓之製作
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CH12-化合物半導體晶棒生長
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CH13-矽磊晶生長
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CH14-矽磊晶系統
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CH15-化合物半導體磊晶生長
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CH16-矽氧化膜生長
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CH17-矽氧化膜生長機制
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CH18-摻雜質之擴散植入
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CH19-摻雜質之離子佈植
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CH20-微影技術
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CH21-蝕刻技術
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CH22-化學氣相沉積
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CH23-金屬接觸與沉積
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CH24-積體電路封裝
Teacher / 李粵堅
Teacher / 蔡林憲
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